今天杰叔就聊聊数控机床的辅助配置，‘线性编码器-线性栅尺’，它主要应用在半导体制造装置/各种NC机床/曝光装置/电子元件插入机/电子显微镜/FPD检查装置。

透射型光电式栅尺的检测原理(组合式线性栅尺）

组合式线性栅尺是以玻璃栅尺为长度基准，使用发光元件、受光装置、通过其刻度格检测光量变化并输出偏移量，将玻璃栅尺的透射光量变化转换为电信号的方式叫作透射型光电式。由发光元件(LED)和准直透镜产生的平行光照向刻度格，穿透刻度格的平行光会在受光装置的光电二极管阵列上形成与刻度格周期相同的干涉条纹，玻璃栅尺沿测长方向偏移时，干涉条纹也会随之移动，受光装置将输出刻度周期（20um间距）的正弦波信号，输出的正弦波经过内插电路的电分割后，成为具有最小分辨率的方波(脉冲）。

反射型光电式栅尺的检测原理（ST36等）

光电式分离式线性栅尺是使用发光元件、受光装置，通过玻璃栅尺的刻度格检测光量变化的偏移量，将玻璃栅尺的反射光量变化转换为电信号的方式叫作反射型光电式。由发光元件（LED）和准直透镜产生的平行光照向游尺上的格子和玻璃栅尺的刻度格，刻度格的反射光会在受光装置的光电二极管阵列上形成干涉条纹，玻璃栅尺沿测长方向偏移时，受光装置将输出刻度周期或1/2周期的正弦波信号。

电磁感应式栅尺的检测原理（ABSST、ABSAT）

电磁感应是2个线圈相对放置时，向线圈A中通入随时间变化的电流后，在线圈A的周围产生磁通量，线圈B中沿抵消通量的方向产生感应电流的现象。电磁感应式栅尺是利用电磁感应将偏移转换为电信号，主尺以正确的间距配置了栅尺线圈，与其对置偏移的传感器部则配置了激磁线圈和检测线圈。向激磁线圈中通入电流后会产生磁通量，对置的栅尺线圈中将产生感应电流，该电流产生的磁通量会使对置的检测线圈中产生感应电流。根据传感器部的偏移量，各线圈之间的电磁耦合发生变化，可以得的与栅尺线圈的间距周期相同的正弦波信号。通过对正弦波信号进行电插补（分割），可以将其作为最小分辨率的数字量来测量偏移。

远心光学系统原理（ABSST）：两侧的远心摄像光学系统以图像形式捕捉栅尺刻度，使用受光装置检测移动量。两侧采用远心摄像光学系统——提高编码器的稳定性。

好了，关于线性栅尺检测原理机床杰叔就分享到这里，

转载请注明:http://www.aideyishus.com/lktp/6667.html